SiC刻蝕環(huán)是半導(dǎo)體材料在等離子刻蝕環(huán)節(jié)中的關(guān)鍵耗材，在半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)鏈上是一種不可或缺的重要材料。SiC刻蝕環(huán)對(duì)純度要求極高，因此只能采用CVD工藝進(jìn)行生長(zhǎng)SiC厚層塊體，隨后經(jīng)精密加工而制得，主要用于半導(dǎo)體刻蝕工藝的制備環(huán)節(jié)。長(zhǎng)期以來，圍繞半導(dǎo)體及其配套材料的發(fā)展一直是我國生產(chǎn)制造中的薄弱環(huán)節(jié)，但因其技術(shù)壁壘高，長(zhǎng)期被美、日、德等國所壟斷，一直是被“卡脖子”的關(guān)鍵材料之一。
湖南德智新材料有限公司董事長(zhǎng)柴攀表示，此次半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)項(xiàng)目，總投資約2.5億元，主要用于半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)的研發(fā)、制造，投產(chǎn)后年產(chǎn)值超1億元。
據(jù)了解，2018年，德智新材落戶動(dòng)力谷自主創(chuàng)新園。隨后，其自主設(shè)計(jì)的國內(nèi)最大化學(xué)氣相沉積設(shè)備完成調(diào)試投入使用。這個(gè)設(shè)備能在高溫、高真空環(huán)境下合成鏡面納米碳化硅涂層。目前，“德智新材”成為國內(nèi)最大單晶太陽能生產(chǎn)企業(yè)——隆基股份等龍頭企業(yè)的供貨商，并與吉林大學(xué)、中南大學(xué)等知名高校建立長(zhǎng)期合作關(guān)系。
“該項(xiàng)目對(duì)于國內(nèi)外的該產(chǎn)品領(lǐng)域來說，都有著一定的前瞻性和拓展性?！睒I(yè)內(nèi)人士分析認(rèn)為，此項(xiàng)目技術(shù)含量高、成長(zhǎng)能力強(qiáng)、經(jīng)濟(jì)效益好，對(duì)突破國外的技術(shù)封鎖，進(jìn)一步推動(dòng)國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)、壯大株洲經(jīng)濟(jì)規(guī)模具有十分重大的意義。
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